真空石墨燒結爐

1. 真空石墨燒結爐設備用途

本系列真空爐為周期作業式，采用石墨管或石墨棒(為發熱元件，適用于金屬材料，無機非金屬材料，在真空或保護氣氛下進行燒結適用，也可用于光學材料的燒結提純適用。

2. 真空石墨燒結爐方案圖

3. 主要技術參數

3.1 電源：單相 380V 50Hz

3.2 加熱功率：45Kw

3.3 最高溫度：2000℃ 使用溫度1900℃

3.4 工作區尺寸：Φ160*160（D*H，mm）

3.5 控溫區數：一區

3.6 控溫方式：鎢錸熱電偶+紅外測溫儀

3.7 控溫精度：±1℃

3.8 冷態極限真空度：6.67*10-3Pa（空爐、冷態、烘烤除氣后）

3.10 充氣氣氛：惰性氣體

3.11 充氣壓力：≤0.05MPa

4. 設備構成

5. 結構及功能說明：

    設備采用立式井式結構，設備整體設計，操作高度相似與桌面高度，操作方便，設備主要有爐蓋、爐體，爐架、真空系統、加熱系統、水冷系統、爐蓋升降系統，控制系統等組成。

6.1 爐蓋

爐蓋采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層平板結構，與法蘭組焊成一個整體。其中內壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐門上設有冷卻水進出口、爐蓋升降連接座等爐蓋電動升降，爐蓋及保溫屏整體安裝在升降模組上，升降平穩，方便進出料。

6.2 爐體

爐體采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層架構，與上、下法蘭組焊成筒形結構，上法蘭平面上開設有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐體側面設有冷卻水進出口、真空抽氣口、熱電偶安裝口等。

6.3 爐底

爐底采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層平板結構，與法蘭組焊成一個整體。其中內壁精密拋光，外壁拉絲處理。法蘭平面開設有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐底設有水冷電極安裝孔、自動充放氣接口等，爐底與爐體用螺栓聯接鎖緊。

6.4 爐架

爐架采用型材焊接作為骨架，并配合數控鈑金，組合成一個整體，作為整個設備的基礎。同時，一體式設計整齊美觀，操作方便。

6.5 加熱及隔熱系統

加熱采用高純石墨作發熱體，純度高，無揮發，有效保證爐腔內的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈，保溫效果好，耐沖擊性好。整個隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護。

溫度控制采用熱電偶+紅外儀切換控溫的方式，低溫時熱電偶直接控溫測溫，高溫時熱電偶退出，用紅外儀直接控溫測溫。同時，在隔熱屏外設置一支監控熱電偶，監控隔熱屏外溫度，提高設備的安全使用性能

6.6 爐蓋升降及鎖緊裝置

采用一臺蝸輪蝸桿升降機帶動爐蓋及保溫蓋做上升下降運動，行程300mm左右。升降導向采用一根線性滑軌，與升降機、鋁型材共同組合成一個整體。爐蓋與升降機構的連接采用活動式連接，保證真空密封。

爐蓋鎖緊采用手輪壓緊的方式，可保證設備在微正壓下工作。

6.7 真空系統

真空系統采用二級泵配置，由一臺K-150油擴散泵，一臺VRD-24機械泵、氣動高真空擋板閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規管等組成，真空管道與泵的聯接采用金屬波紋管減緩震動，真空度的測量由睿寶數顯復合真空計執行。

6.8 混氣系統

本設備配置一路充放氣系統，由流量計、電磁閥、手閥、壓力傳感器、接頭等組成。由壓力傳感器及電磁閥形成閉環控制系統，可對爐內氣氛壓力進行控制。當爐壓超過設定值時，排氣閥自動打開，進行泄壓。手閥可以根據實際情況，適當調整氣體流量。排出的氣體客戶可結合實際情況進行處理。

6.9 水冷系統

水冷系統由進出水總管道、閥門及各支路組成。冷卻水由進水總管進入后，經過各支管送到爐門、爐體、爐底、水冷電極、真空泵、冷阱等這些需要冷卻水的地方，然后匯總到出水總管排出。總進水管路設有電接點壓力表，具有斷水聲光報警并切斷電源功能。各支路水管采用透明塑膠軟管，通過不銹鋼接頭聯接進出水總管道及設備各進出水口。每路冷卻水進水管都裝有手動閥門，可手動調節水流量大小。客戶可直接選用水冷機做為冷卻系統的水源，循環冷水機用戶可自行選配或者委托我公司代買。

6.10 控制系統：

     控制加熱系統有可控硅調壓器+低壓高流大功率變壓器+測溫裝置，組成閉環控制系統，溫度儀表采用程序儀表帶PID自動調節功能，帶自整定自我調整能力。穩定可靠，控制精度高。設備整體配有操作模擬屏，控制系統的操作都集中在上面，直觀明了，操作簡單可靠。同時如有需要控制系統可升級采用PLC+觸摸屏的方式，溫度真空數據可記錄可查詢，曲線可現實，數據可保存可導出，溫度程序數據可編譯可保存可調用。控制系統集中安放在爐架的一側箱體內，整結大方，維修方便，所有器件均采用施耐德，西門子等，保證使用安全。控制箱柜上都有安全警示貼，安裝接線標準化制作。

6.11 變壓器及連接電纜

選用與使用功率相匹配的干式隔離變壓器及電纜。