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      雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐

      雙管區熔爐 KQZ-20-11 提純爐

      所屬分類:區域熔煉爐

      產品型號:

      更新時間:2025-05-14

      描述:雙管區熔爐 KQZ-20-11 提純爐 設備用途:

      提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料;

      區熔致勻(使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中)

      焊接和測量液體中的擴散率等。

      詳細信息




      雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐


      · 雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐設備用途:

      1. 提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料;

      2. 區熔致勻(使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中)

      3. 焊接和測量液體中的擴散率等。


      二· 雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐 優點:


       1·區熔加熱爐采用往復區熔的方式,閉環溫度控制,可靠的控制熔區的寬度問題;生長室的設計成功解     決生長室的污染問題,
       2·將加熱及保溫材料均設置在生長腔室外部,采用高純石英作為腔室,同時抽真空;將流動高純氫氣通     入腔室,去除腔室中的微量氧,解決氧化的問題;
       3·開發高柔性的控制軟件,采用觸摸屏進行操作,任意設置區熔的溫度,區熔的速度及次數。


      ·主要技術參數

      1. 最高加熱溫度:     1200℃ 使用溫度:500-1100℃

      2. 設備功率:          ≤35Kw±10%  三相380v 50Hz(三相五線制)

      3. 感應電源功率:     20Kw±10%  三相380v 50Hz(三相五線制)頻率≥400kHz。

      4. 紅外加熱功率:      2kw*2(暫定)

      5. 冷態極限真空度:   ≤5×10-4Pa

      6. 石墨舟尺寸:     Ф70*200mm(外徑*長度,半圓柱)

      7. 石英管(腔室)尺寸: ¢90*1500(根據實際情況做調整)

      8. 加熱方式:        高頻感應加熱

      9·區熔行程及速度:  位移行程 ≦1200mm
                         慢速:0.1-10mm/h(伺服控制)精度0.01mm
                     快速:200mm/min(伺服控制)(空走或者后退)
      10.爐內充氣壓力:    ≤0.03MPa(氬氣)
      11·充氣系統:      自動充放氣
      12.區熔溫區:       2溫區
      13.石英管法蘭連接方式:真空水冷密封法蘭形式,留KF25真空接口,法蘭材質304不銹鋼
      14.控制方式:觸摸屏+plc









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